S-63型真空ポンプ

偏心ローター＋ベーン構造を採用しています。

ローターが回転すると、遠心力によりベーンがポンプ室内壁に押し付けられ、吸気→圧縮→排気の工程を循環的に行います。

油膜はシール、潤滑、冷却の 3 つの役割を同時に果たします。

内蔵オイルミストセパレーターとオイル逆流防止弁により、停止時のオイル逆流を遮断し、クリーンな排気を保証します。

長年実績のある回転翼式技術で、出力が大きく耐久性に優れます。

現在、世界中で 10 万台以上の真空ポンプが毎日稼働しています。